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億鐠氬氣脫水干燥系統是專為高純氬氣（Ar）凈化設計的深度除水解決方案，通過吸附干燥+低溫冷凝+精密過濾的多級工藝，將工業級氬氣中的水分含量降至≤1ppm（露點≤-70℃），滿足半導體制造、特種焊接、光伏拉晶等高端領域對惰性氣體的超純要求。系統采用模塊化智能設計，兼具高效性、可靠性與節能性。
億鐠氬氣脫水干燥系統通過“冷凝+吸附+過濾”三級聯控，解決了高純氬氣制備中的深度除水難題，核心價值包括：品質保障：滿足半導體級氬氣ISO 14175標準。能源高效：熱氮再生余熱回收，綜合能效比達90%。

圖中綠線表示吸附流程，紅線表示再生流程，藍線表示排污流程，青線表示放散流程。 吸附流程如圖，主氣流從進氣口經分離過濾器進入A塔，氣體本脫水后經粉塵過濾器到達出氣口; 再生流程如圖，氣體經由增壓機推入加熱器，升溫后進入B場塔再生，然后進入冷卻器，再經分離器的氣水分離作用回到增壓機或 A 塔進氣口。